真空傳感器的工作原理是基于不同的物理效應(yīng)，將真空環(huán)境中的壓力變化轉(zhuǎn)化為可檢測的電信號(hào)或其他信號(hào)。常見的如介質(zhì)壓力作用在膜片上，使其產(chǎn)生微位移導(dǎo)致電阻變化，經(jīng)電子線路轉(zhuǎn)換輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)；還有基于彈性變形，薄膜受壓產(chǎn)生電壓。另外，熱陰極離子化、電容式、熱導(dǎo)式等類型，也各有其獨(dú)特的原理，都是為了精確測量和監(jiān)測真空壓力變化 。

其中，壓阻式真空傳感器的測量部件中裝有固態(tài)壓力芯片，巧妙地利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。在特定晶面上擴(kuò)散形成四個(gè)等值電阻，它們共同組成惠斯登電橋。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí)，電橋就會(huì)失去平衡，進(jìn)而輸出與壓力成正比的電信號(hào)。隨后，經(jīng)過感應(yīng)智能芯片進(jìn)行非線性修正和溫度補(bǔ)償，最終輸出與壓力成線性對應(yīng)關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，實(shí)現(xiàn)了對真空壓力的精準(zhǔn)測量。

電容式真空傳感器也獨(dú)具特色。它一般有兩個(gè)腔體，上方為真空腔，下方腔體則與外界氣體相通。要知道，真空度是以壓力來表示的，壓力越高意味著真空度越低，反之壓力越低真空度越高。在大氣壓力的作用下，硅膜片會(huì)向上鼓起，而當(dāng)下面腔體內(nèi)的真空度不同時(shí)，硅膜片的鼓起程度也會(huì)不同，這就導(dǎo)致電容兩極板之間的距離發(fā)生改變，電容值自然也隨之變化。通過測量電路將電容值的變化轉(zhuǎn)換為電壓或頻率信號(hào)，就能檢測出對應(yīng)的真空度。

熱導(dǎo)真空傳感器則是把熱絲暴露在真空環(huán)境中，依據(jù)熱絲受到氣體分子散熱影響而產(chǎn)生的溫度變化，推導(dǎo)出相應(yīng)的壓力值。不同類型的真空傳感器，憑借各自獨(dú)特的工作原理，滿足了不同領(lǐng)域?qū)φ婵諌毫y量的需求。無論是在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道真空壓力檢測，還是在其他需要精確監(jiān)測真空環(huán)境的場景中，都發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它們?yōu)槲覀儗φ婵諌毫Φ恼J(rèn)知和控制提供了可靠的手段。