由于環(huán)保意識(shí)的提高和能源使用效率提高的呼聲高漲，如何控制汽車引擎使用溫度與效率，已成為21世紀(jì)重要的課題之一。在這方面，白金溫度傳感器正顯示出其獨(dú)特的魅力。

　　白金溫度傳感器(RTD)是進(jìn)行溫度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)工具。白金的阻值隨溫度變化的關(guān)系與目前市面上其它常用的溫度傳感器比較如圖1-1所示。白金在較大的溫度范圍內(nèi)其阻值變化率幾乎成線性的變化，而負(fù)溫度系數(shù)熱阻器(NTC)或正溫度系數(shù)熱阻器(PTC)則只能使用在相當(dāng)窄的溫度范圍。

　　白金溫度傳感器的功能規(guī)格如表1-1所列，其關(guān)鍵技術(shù)在于如何利用濺鍍技術(shù)控制白金膜的特性，包括密度、體積大小、厚度等。

　　除此之外，白金還具有耐腐蝕、耐高溫等優(yōu)良性質(zhì)，更是其它材料所遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及。以往白金溫度傳感器是利用繞線的方式所制成，而白金又非常昂貴，因此以往只能做溫度標(biāo)準(zhǔn)校正用。隨著薄膜技術(shù)以及IC制程技術(shù)的發(fā)展日趨成熟，白金薄膜傳感器即應(yīng)運(yùn)而生。

　　高溫白金薄膜傳感器是在小至2mm×5mm的芯片上利用濺鍍(sputtering)技術(shù)沉積厚度僅幾千A的白金，因此白金的用量非常少，并利用IC制程在一片基板上蝕刻出一千片以上的白金感應(yīng)芯片。由于這種技術(shù)的發(fā)展，白金薄膜傳感器的成本已逐漸降至可與一般常用的傳感器相競(jìng)爭(zhēng)，再加上其精密度可利用鐳射修整(Laser  trimming)至0.1%，白金溫度傳感器已開始逐漸廣泛地投放于市場(chǎng)。

　　目前，白金薄膜溫度傳感器的使用溫度最高只達(dá)600℃，但由于汽車以及新一代家電市場(chǎng)對(duì)更高溫度(750℃～1000℃)測(cè)量的強(qiáng)烈需求，各白金溫度傳感器制造商無(wú)不傾注全力投入新一代高溫傳感器的研發(fā)，以取得領(lǐng)先的地位。此種產(chǎn)品用于汽車進(jìn)氣、排氣系統(tǒng)已進(jìn)入測(cè)試階段(圖1-2)。而其中不論是汽車或飛機(jī)噴射器上的進(jìn)氣、排氣系統(tǒng)，在如此高溫且惡劣的環(huán)境下，如何精確地測(cè)量溫度是最難卻是最重要的。發(fā)展高溫白金薄膜溫度傳感器所具有的耐高溫、耐腐蝕且不昂貴的優(yōu)點(diǎn)，將使其重要性日趨明顯。