目前有多種新技術可精確測量涂膜厚度。

比如江蘇雷博微電子的新專利技術，它通過先進的傳感器及數(shù)據(jù)處理技術，結合創(chuàng)新的光學測量原理和人工智能的圖像分析技術，能在生產(chǎn)中實時監(jiān)測膜厚，測量精度高、效率高，還解放了人工操作，提升了工藝自動化水平。對于大尺寸旋涂膜，這種技術優(yōu)勢明顯。

還有 X-RAY 涂層厚度分析儀，像 XF-3000，它結合射線發(fā)生裝置、Fast SDD 探測器和定制軟件，功能強大。是臺式光譜分析儀，設計理念好，能支持多尺寸大工件測試，配備手動 XY 軸工作臺定位樣品，射線光斑作用于樣品底面，最小光斑能聚至 0.1mm，軟件加載 smart FP 算法，操作簡單，結果分析準確方便。

另外，常用的測量方法還有磁性拉斷式測厚儀、磁和電磁感應儀器、渦流測厚儀、超聲波測厚儀、千分尺測厚儀。

還有破壞性測試，比如在橫截面上切割涂層部分用顯微鏡觀察測量，或用精密切割輪制作 V 形槽測量。

再有就是美國 DeFelsko 公司的 PosiTector 100 系列超聲波涂層測厚儀，應用超聲波技術，能容易準確地測量單層或多層涂膜厚度，適用多種基材。

這些新技術和方法都為精確測量涂膜厚度提供了有效手段。